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          电子工业超纯水

          发布时间:2018-03-31

          文章来源:未知

          作  者:admin

        湖北晶体
            微电子工业、大规模、超大规模集成电路需用大量的高纯水、超纯水清洗半成品万搏体育官网登录、成品。集成电路的集成度越高,对水质的要求也越高万搏体育官网登录,这也对超纯水处理工艺及产品的简易性、自动化程度万搏体育官网登录、生产的连续性、可持续性等提出了更加严格的要求。电子级超纯水设备出水水质符合标准美国ASTM纯水水质标准、我国电子工业部电子级水质技术标准(18MΩ.cm、15MΩ.cm万搏体育官网登录、10MΩ.cm万搏体育官网登录、2MΩ.cm、0.5MΩ.cm五级标准)、我国电子工业部高纯水水质试行标准、美国半导体工业用纯水指标、日本集成电路水质标准、国内外大规模集成电路水质标准。

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